低溫泵
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摘要
適于埋裝在地下,不會受電動機熱風、空氣溫度和日照等影響,易于保冷;能降低泵的吸上高度,增加灌注頭,提高有效汽蝕余量。
產品介紹
低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
一般說來,低溫液體泵設備的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時,水的蒸氣壓已低于 帕。溫度為20K時,除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于 帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器,低溫板為20K時,泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
適于埋裝在地下,不會受電動機熱風、空氣溫度和日照等影響,易于保冷;能降低泵的吸上高度,增加灌注頭,提高有效汽蝕余量;立式結構還有利于排氣,使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置,故該泵也稱為立式筒型泵。